精密微調平臺在精密測厚時需要注意哪些

添加時間：2016-8-1 7:09:49 作者：浙江金科機械傳動有限公司

1、精密微調平臺用單激光測厚
　　被測體放在測量精密微調平臺上，測量出傳感器到平臺表面距離，然后再測出傳感器到被測體表面間距，經計算后測出厚度。要求被測體與測量精密微調平臺之間無氣隙，被測體無翹起。這些嚴格要求只有在離線情況實現。
2、 精密微調平臺測厚
　　在被測體上方和下方各安裝一個精密微調平臺 ，被測體厚度D=C-（A+B）。其中，C是兩個傳感器之間距離，A是上面傳感器到被測體之間距離，B是下面精密微調平臺到被測體之間距離。圖中：SMR是指精密微調平臺量程起始間距，MR是指傳感器量程。
　　在線厚度測量用這種方法優點是可消除被測體振動對測量結果的影響。但同時對傳感器安裝和性能有要求。
　　保證精密微調平臺測量準確性的條件是：兩個傳感器發射光束必須同軸，以及兩個傳感器掃描必須同步（見本文附圖）。同軸是靠安裝實現，而同步要靠選擇有同步端 激光傳感器 。如真精密微調平臺10X系列激光位移傳感器都有同步端。精密微調平臺