新一代手動位移平臺發(fā)展前景與背景介紹

添加時間：2020-6-9 8:33:34 作者：浙江金科機械傳動有限公司

將直線超聲電機用于手動位移平臺的國家是日本。1991年， 日本Kazumasa研制了一種利用π型直線超聲電機驅動的精密X-Y工作臺[3]。該工作臺尺寸為208×208×56mm3 ，大速度為30 mm／s，大輸出力為600 gf。在驅動頻率為90 kHz時，位置精度可達0．01μm。
　日本Kyocera公司生產(chǎn)的X —y精密定位裝置系列產(chǎn)品于2000年獲得第42屆年度“十佳新產(chǎn)品”稱號，被認為是在解決新一代超級集成電路所面臨的問題上取得的重大突破[4]。由于該產(chǎn)品能提供超精細微處理技術，也為許多新技術的發(fā)展帶來了機遇。
　手動位移平臺這個系列產(chǎn)品主要包括：超低速型和高速型。超低速型的上作速度最低可以達到10nm／s，定位精度達到或超過10nm，位置分辨率為1nm或更高；高速型的運動速度為200mm／s或更高，速度波動小于1％，定位精度在±0．1μm。超低速類型可用于微型機械加工設備、表面分析設備和新一代高密度存儲器的生產(chǎn)設備，高速型可用于電子束發(fā)射器、電子掃描顯微鏡或探傷設備。